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氣相法（lGas phase method）制備石墨烯工藝，是指在氣態(tài)或者等離子態(tài)中，直接生長石墨烯的方法，包括化學氣相沉積法、電弧放電法等。氣相法采用管式結(jié)構(gòu)，通過有機氣體等高溫等離子分解，在催化基體上生長為石墨烯材料。微波氣相法（microwave plasma vapor deposition）采用微波為能源的管式爐結(jié)構(gòu)，通過微波激發(fā)等離子體形成高溫熱解沉積和生長條件，實現(xiàn)石墨烯制備的方法。

微波氣相法石墨烯技術(shù)的應用包括如下幾個方向：